等離子體協助ＣＶＤ有三種類型 ：

１）微波等離子體ＣＶＤ（ＭＰＣＶＤ，微波激發頻率通常為２．４５ＧＨｚ）；

２）ＲＦ等離子體ＣＶＤ（通常激發頻率是１３．５６ＭＨｚ）；

３）直流等離子體ＣＶＤ。

相對于其他方法，MPCVD法優勢如下 ：

１）反應器的簡單、靈活和商業可用 ；

２）微波非等溫等離子體的穩定性和可重復性，允許連續沉積數十小時或數百小時，并且樣品質量可重現；

３）高能量效率（高等離子體密度和低鞘電勢），保障合理的成本；

４）具備生長大尺寸金剛石薄膜能力 ；

５）與其他ＣＶＤ技術（例 如２０００°Ｃ 的 ＨＦＣＶＤ）相比，沉積溫度相對較低，因此外延層和襯底之間的熱失配和所產生的應力較小 。